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產(chǎn)品分類
作為真空泵,干式螺桿真空泵可以用于大部分的真空應(yīng)用中。但作為干式真空泵中的一員,還在很多行業(yè)應(yīng)用中有著天然的優(yōu)勢,比如:
化工制藥、食品制造中的蒸餾、干燥、脫氣、包裝等,需要防止一些有機(jī)溶劑、油氣污染的應(yīng)用,干式螺桿真空泵可以提供更加潔凈的真空應(yīng)用環(huán)境。
制藥、石油化工行業(yè)中的油氣回收、有機(jī)溶劑回收等,防止回收介質(zhì)污染、反應(yīng)或減少分離操作的應(yīng)用,回收效率更高。
半導(dǎo)體的蝕刻工藝。這些工藝中會產(chǎn)生研磨顆粒以及腐蝕性氣體,干式螺桿真空泵沒有與其反應(yīng)的工作介質(zhì),同時間隙密封可以容許一定量的顆粒介質(zhì)通過并排出,因此更加安全適用。
CVD、PECVD等氣相沉積應(yīng)用,防止油氣、水蒸氣及其他雜質(zhì)污染產(chǎn)品或與被抽介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。
無油真空機(jī)組中的前級泵,防止油氣等返流到高真空端。
在上述這些真空應(yīng)用中,干式螺桿真空泵因為抽氣泵腔無油無水,氣體流道通暢,且通過型線間隙密封,轉(zhuǎn)子泵腔之間不產(chǎn)生摩擦接觸,與傳統(tǒng)的一些真空泵相比,更適應(yīng)對應(yīng)的工況,配置簡潔,運(yùn)行效率更高更穩(wěn)定,從而提升工藝效率與品質(zhì)。
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